SK하이닉스

[ALE saturation curve 분석을 통한 총 cycle time 150초 감소] 교내 연구실에서 ALE 실험을 하며 exposure time 조절하여 saturation curve를 확인했습니다. 1~10초간 노출 진행한 DATA를 통해 5초에서의 EPC 값이 7초의 EPC보다 낮다는 것을 측정하였습니다. 이를 통해 saturation time이 6~7초라 설정할 수 있었습니다. 그러나 5초의 값은 오차 범위가 넓었고 기판의 포인트를 너무 소량 측정해 데이터 분석에 오차가 발생할 수 있다고 생각했습니다. 4초 EPC는 현저히 낮아 ellipsometer를 통해 5초간 노출된 기판의 포인트를 늘려 측정해보니 5초에서 saturation 된다는 것을 발견하였습니다. 최적의 공정 시간을 5초로 설정해 레시피를 다시 제작하여 총 공정시간 150초를 줄일 수 있었습니다. 이러한 경험을 통해 데이터를 분석해 공정 효율을 개선하는 능력은 양산 기술 엔지니어에게 꼭 필요한 역량이라는 것을 느꼈습니다. 이와 같은 경험을 통해 역량을 키울 수 있었고 수율 향상과 불량 해결이란 두 마리 토끼를 잡는 엔지니어로 거듭나겠습니다. ​

[팀워크를 통한 KOTITI 연구소 분석 오차율 20% 감소] XRF팀에 근무하며 오차율 25%가량 발생해 분석이 끝나면 선임 연구원님이 재측정을 하셨습니다. 업무 비효율을 해소하기 위해 피크를 확인할 수 있도록 관련 지식 학습이 필요했습니다. 수석 연구원님과 팀장님께 오차율을 근거로 이를 개선하기 위해 교육을 요청하였습니다. 이를 통해 시료의 규격 및 조사경 설정이 문제가 된다는 것을 파악하였고 오차율 10% 줄일 수 있었지만, 팀원은 불편함을 토로하기 시작했습니다.

그 이유는, 손이 큰 팀원은 Mylar cup 필름을 제대로 씌우지 못했고, 한 팀원은 조사경에 시료를 잘 못 맞추는 등 각자의 어려움 때문이었습니다. 한 명이 모든 과정을 진행하는 것이 원인이라 판단해 tea time을 조성하여 각자의 능력을 살려 Film과 Mylar cup 업무, 시료 세팅, 분석 업무로 업무 배분을 주도적으로 하였습니다. 그 결과, 실험실 내에 동선이 줄어 측정하는 시간을 줄일 수 있었고 오차율을 5%로 감소시킬 수 있었습니다. ​

[원인 분석을 통한 InGaP ALE] InGaP WF 원자층 식각 과제를 진행한 경험이 있습니다. 다성분계 기판에 대한 ETCH는 HF를 활용해 불소화 시킨 후, O2 플라즈마 ALE를 진행할 수 있겠다는 생각이 들었습니다. 이와 같은 아이디어로 실험을 진행해본 결과, QCM으로 표면의 fluorination이 잘 진행된 것을 확인할 수 있었지만, SEM을 통해 표면이 거친 것을 보아 물리적 식각이 진행됐다는 것을 깨달았습니다. 이러한 문제의 원인으로 RF power와 유량에 의해 이온의 밀도와 에너지가 증가했고, 거친 표면이 나올 수밖에 없다고 판단하였습니다. 과제의 본 목적인 ALE를 성공시키기 위해 다양한 RF power와 유량을 설정해 실험을 다시 진행하였습니다. 기존보다 낮은 parameter 조건의 반복 실험 끝에 최적의 RF power와 유량을 찾았고 50W, 50 sccm 의 조건에서 이전보다 더욱 uniformity한 박막을 형성할 수 있는 반응을 이끌었습니다. SEM과 AFM을 통해 분석한 결과 균일한 박막을 확인하며 균일도와 식각률의 trade-off 관계에서 균일도를 향상하는 실험의 목표에 부합한 결과를 끌어냈습니다. ​

# 분위기 메이커 이러한 해시태그 덕분에 다양한 활동들을 시너지 있게 해온 경험들이 있습니다. 학창 시절, 과 학생회/공대 학생회/동아리 등 다양한 사람들을 만나는 경험들을 주로 해왔습니다. 주변 동료들을 즐겁게 해주고 분위기를 좋게 함으로써, 축제나 과 활동 등에서 협업을 효율적으로 할 수 있었습니다. #끈질긴 분석가 자발적으로 문제를 분석해가며 해결해나가는 것을 즐깁니다. 학부연구생, 캡스톤 디자인을 하며 무작정 다른 조건의 실험을 통해 결과를 도출해내는 방법보다는, 현상 파악에 집중하여 문제를 분석에 효율적으로 목표에 다가간 경험이 있습니다. 또한, 공정 ENG'R로 야간업무간 발생한 SC를 분석하여 추가적인 피해를 예방하였습니다. 신입사원으로 잠시 설비를 HOLD하여 명일 OFFICE 선배님들께 도움을 받을 수 있었습니다. 그러나, 직접 문제를 파악하고 분석해 원인 예방을 할 수 있었습니다. 이러한 강점들을 활용해 업무 간 공동의 목표를 더 효율적으로 달성하고, 최종적으로 SUPEX한 양산 기술 ENG'R가 되도록 하겠습니다.