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질문 : 지원 분야 및 직무 역량과 관련된 프로젝트/공모전/논문/연구/학습/활동/경험 등을 작성해주세요. 답변 : [경험1] 박막소자연구실 학부 연구생 [프로젝트] '1nm 극박막 특성 유지 기술 개발', '원자층 증착 방법을 이용한 Ru, Mo 배선 물질 최적화'. [논문], [특허 출원] '저저항 특성을 갖는 초극박막의 제조방법' [역할] 차세대 배선소재로 활용되는 Ruthenium(Ru)을 원자층 증착 방법(ALD)를 이용하여 증착. 주로 sub-5nm Ru 박막의 성장 거동 및 저항 특성 개선을 위해 플라즈마를 이용한 표면 개질법 및 ALD 공정 메커니즘 변형. 특히, 결정립 성장을 위한 RTA 공정 시 자발적으로 발생하는 응집 현상을 capping layer 및 wet etching 공정을 적용하여 효과 적으로 억제. 결과적으로 3nm 두께에서 비저항 70% 감소하면서 과제 목표 KPI 및 특허 출원과 SCI 논문 작성. [경험2] 차세대반도체연구실 인턴 [프로젝트] '초격자향 heterostructure 상변화 메모리 소자 제작', 'Mutli-Level Cell RRAM 구현' [역할] PCH 구조에서 사용되는 전이금속 디칼코제나이드계 기반 confinement layer의 경향성 분석 및 PCH cell에 적용. cohes ive energy 및 electrical conductivity에 따른 thermal barrier 역할의 MoTe2 물질과 빠른 스위칭 역할의 NiTe2 물질을 이용자기소개서 하여 PCH cell의 multi-bit 구현. 이를 통해 차세대 메모리 소자로서 고밀도, 저전력 상변화 메모리 소자의 방향성 제시. [학습] 반도체 융합 공학 부전공 이수 DRAM, NAND 소자 지식을 함양하기 위해 부전공 이수. 반도체 재료 수업을 통해 PN junction부터 MOSFET의 band diagra m 등 transistor의 기본 특성 이해. 또한, 반도체 실습 과목을 통해 클린룸에서 full flow를 진행하고 반도체 소자의 특성을 평가/ 분석하며 scaling에 따른 defect 영향성과 소자에 대한 폭넓은 이해력을 기름.