기업명 비공개

[기초지식 및 관련 경험사례] 저는 지난 여름 방학 때, pecvd 공정개발 직무부트 캠프를 참여하여 현직자와 함께 실제 현업에서 쓰이는 recipe를 토대로 물성 분석 진행하여 particle issue나 증착 과정시 생길 수 있는 여러 가지 contamination 문제 등을 recipe 개선이라는 간접적인 방법으로 해결한 경험이 있습니다. 제가 분석하고 개선했던 recipe는 ACL Hardmask 였고, stable 단계에서 deposition과 gas 유량비를 똑같이 맞춰주거나 throttle valve speed를 낮춰서 carbon back flow현상을 막는다는 등의 여러 가지 parameter들을 조절하여 particle issue를 간접적으로 해결하였습니다. 몇 차례의 과제가 끝난 후 저는 최종 과제인 ON Stack recipe를 직접 제작해보았습니다. 앞선 물성 분석과 간접적 해결 경험을 토대로 제작하였고, 실제로 사용은 불가하겠지만, 직접 무언가를 스스로 제작해본 경험이 저를 더더욱 성장하게 만들어 준거 같습니다. 이 최종 과제 과정에서 현직에서 쓰는 SiO2 recipe를 보았는데, 이때 마지막 purge step에서 sheath영역에 의해 부유되어 있는 음전하 particle이 wafer위로 떨어지지 않도록 방지하기 위해 Rf power를 천천히 끄는 즉 plasma를 킨 상태에서 진행한다고 되어있었습니다. 이때 제가 여기서 든 생각이 hardware측면에서 이러한 현상을 방지 할 수 없을까? 라는 의문점이 들었습니다. 사실 음전하로 대전되어 있는 particle들이 wafer위로 안착된다면 arcing 현상은 물론 더 나아가 후속 공정에서 masking effect나 uniforimity에도 치명적인 문제가 생길것이고 이는 수율저하를 야기하는 가장 큰 원인이 될것이 뻔하기에 미리 예방하고 방지하는 것이 엔지니어로써 해야될 임무라고 생각합니다. 그래서 저가 생각한 아이디어는 chamber외부에 아주 극소량의 즉 음전하 particle이 안착 되지 않을 정도로 작은 DC Power를 외부에서 인가한다면 위 현상을 막을 수 있을것이라 생각하였고, 이 아이디어로 물론 좋은 결과는 아니더라도 교내 반도체 아이디어 공모전에서 입상이라는 결과를 얻어 낼 수 있었습니다. [지원동기 및 포부] 위 프로젝트 말고도 실제 kccp 취업동아리나 spta(반도체공정기술교육원)에서 실제 반도체 소자 제작 실습을 해본 경험이 있습니다. 이때 했던 경험은 cleanroom에 방진복 입고 들어가는 것 까진 똑같으나, 주체가 되어 하는 능동적인 실습은 아니였습니다. 물론 들어가서 실제로 보고 경험해봤다는 점에서는 좋으나, 옆에서 보고 사진찍고 공부하는 수동적인 방법 보다는 직접 주체가 되어 능동적으로 공부하고 실제 과정중 생긴 호기심 또한 직접 해결하는 능동적 연구를 하고 싶다는 생각이 들었습니다. 취업동아리때는 저희가 IGZO트랜지스터를 직접 만들어보았고 이때 ITO박막을 증착했던 방법이 Sputter방식으로 진행하였습니다. 이때는 장비 다루는 것에 익숙치 않았기에, 직접 하지는 않았고, 수동적으로 옆에서 학습하였습니다. 그 후 만들어진 트랜지스터를 SEM으로 실제 구현된 패턴도 보고, probe station으로 각 다른패턴에 probe를 갖다대면서 전기적인 특성 또한 측정하였습니다. 이번 반도체 전문가 과정의 세부내용을 보면 제가 했던 실습들을 장기적으로 할수 있을뿐더러 그 기간 동안 제가 주체가 되어 생각해보는 연구가 바로 제가 원하던 연구였습니다. 공정실습을 한 경험이 있지만, 박막 증착이라는 분야의 실전 경험은 부족한 것이 사실입니다. 방학 때 경험한 간접 증착 프로젝트를 통해 얻은 data를 수치화하고, 수치화된 data를 실제로 검증하고 분석할 수 있는 실전경험의 필요성이 느껴졌습니다. 위 교육에 참여하게 된다면 parameter조절을 통한 간접적인 공정issue를 해결했던 경험을 토대로, parameter의 미세한 변화를 통해 얻는 작은 data 하나까지도 의미 있는 결론으로 이끌 수 있음을 자신합니다. 더 나아가 호기심이 기반이 되어 모든 연구를 진행할 것이고, 발생하는 모든 문제를 능동적으로 해결하는 자세를 가진 연구원이 되고 싶습니다.