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1 Torr로, 문제는 해결되지 않았습니다. 두 번째는 압력 센서의 문제입니다. 펌프에 이상이 없음을 알았기에, 계측기의 문제일 가능성이 컸습니다. 장비 설명서를 통해 센서가 수평으로 있어야 한다는 것을 알게 됐고, 센서를 수평으로 재배치했습니다. 압력은 0.08 Torr로 센서는 이전보다 정확해졌지만, 아직 불량이 개선되지는 않았습니다. 세 번째는 배관의 노후화입니다. Ar 가스 배관은 사람과의 접촉이 빈번하기 때문에, 노후화된 배관을 통해 공기가 샐 가능성이 있습니다. 펌프를 동작시킨 상태에서 IPA 용액을 배관에 떨어뜨려, 내부의 진공 상태가 일시적으로 좋아지는 것을 확인했습니다. 이후 새 배관으로 교체하여 이전의 압력인 0.003 Torr를 되찾았습니다. 마지막은 장비 내 불순물입니다. 화학 반응을 위해 유입되는 Ar 가스가 밖으로 나가면서, 출구 쪽에 쌓인 전구체가 펌프의 성능을 감소시킬 수 있습니다. 따라서 톨루엔, 아세톤 등으로 내부 불순물을 제거했고, 압력을 0.001…